電子潔凈廠房防靜電與接地設(shè)計注意事項?
2025/12/2
潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生,以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。
防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)分為三級,防靜電環(huán)境設(shè)計分級適用場所應(yīng)符合下表的要求。

二、防靜電措施
潔凈廠房防靜電環(huán)境中,防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求:
1、防靜電地面面層的選擇,應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。2、防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×10^4~1×10^9Ω。
3、防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接,其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1×10^5~1×10^8Ω。
潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:
1、一 級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5×10^4~1×10^6Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。
2、二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面 電阻、對地電阻應(yīng)為1×10^6~1×10^9Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V。
3、三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。
潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:
1、應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面。
2、金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層,并應(yīng)接地。
3、室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時,玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。
潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計應(yīng)符合下列要求:
1、各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能,不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料。
2、各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。
3、潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。
4、潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。
三、防靜電接地
導(dǎo)靜電泄放至大地是消除靜電的一種主要方法。為了保證靜電迅速、安全、有效地泄放,潔凈區(qū)域金屬物體、導(dǎo)靜電材料均應(yīng)做可靠接地。導(dǎo)靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應(yīng)做靜電接地。
靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性,其主干線截面不應(yīng)小于95mm2,支線最小截面應(yīng)為2.5mm2。與人體接觸的靜電接地應(yīng)串接限流電阻,限流電阻的阻值宜為1MQ。
在電子工業(yè)潔凈廠房中,有多種可燃、有毒的氣體、液體或粉體輸送、儲存設(shè)備、管道,這些介質(zhì)的設(shè)備、管道也是容易產(chǎn)生靜電危害的場所。所以,對這些介質(zhì)的設(shè)備、管道應(yīng)采取可靠的、安全的導(dǎo)靜電泄放至大地的接地措施,以保證一旦產(chǎn)生靜電能夠迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火災(zāi)危險的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。




